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  • 真空炉系统主要由有关控制设备、加热系统、真空系统组成。 真空系统由扩散泵、机械泵、主路阀、高真空挡板阀和旁路阀等组成。机械泵为粗真空装置,其动力源是一台三相交流电动
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